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影响激光干涉仪测量精度的主要因素
2014-01-17 14:34:18 来源:西安爱德华测量设备股份有限公司 点击:
影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下:1)激光频率稳定性 在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。2)大气折射率3)死程误差 在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差
影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下:
1)激光频率稳定性 在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。
2)大气折射率
3)死程误差 在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
4)余弦误差 在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。
5)脉冲当量误差 激光干涉仪显示的较小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
6)细分误差 在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
7)阿贝误差 为避免阿贝误差,需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上,否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
在三坐标测量机的定位误差测量中,通常选用商品激光干涉仪。频率稳定性、细分误差由激光干涉仪性能决定。在调整、测量中要注意减小大气折射率、死程误差、余弦误差、脉冲当量、阿贝误差等带来的影响。
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